Qu'est-ce qu'une cible en titane ?
La cible Ti est un matériau en titane de haute-pureté (supérieur ou égal à 99,5 % de Ti) utilisé dans les systèmes PVD et de pulvérisation cathodique pour déposer de minces films à base de titane ou de titane-sur des substrats.
Il est fabriqué par fusion, forgeage et usinage de précision avancés pour obtenir une haute densité, une structure à grain fin et des performances de pulvérisation stables.
Ils sont couramment utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, les écrans LCD et OLED, les électrodes de mémoire, les revêtements optiques et les revêtements PVD décoratifs, car ils offrent une excellente adhérence du film, une excellente résistance à la corrosion et une excellente uniformité du revêtement.
Propriétés physiques et chimiques des cibles Ti
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Propriété |
Valeur typique |
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Densité |
4,50 – 4,52 g/cm³ |
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Point de fusion |
1668 ± 5 degrés |
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Pureté |
99.5% – 99.99% (2N5 – 4N) |
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Dilatation thermique |
8.6 × 10⁻⁶ / K |
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Microstructure et qualité interne |
Densité supérieure ou égale à 99,5% Structure à grain fin-uniforme Pas de délaminage Aucune inclusion visible Pas de porosité ni de fissures |
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Conditionnement |
Scellé sous vide + déshydratant + caisse en bois résistante aux chocs- |
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Délai de mise en œuvre |
2 à 4 semaines pour la plupart des tailles |
Plage de taille cible Ti
Cibles Planaires et Rondes
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Taper |
Épaisseur |
Largeur / Diamètre |
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Cible rectangulaire |
Supérieur ou égal à 0,125 pouce |
Inférieur ou égal à 12 pouces |
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Cible ronde |
Supérieur ou égal à 0,125 pouce |
1,0″ – 21,0″ (25,4 – 533,4 mm) |
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Cible tubulaire |
Supérieur ou égal à 0,125 pouce |
Inférieur ou égal à 12 pouces |
Rugosité de la surface
- Surface de pulvérisation : Ra inférieur ou égal à 1,6 μm
- Surface sans-pulvérisation : Ra inférieur ou égal à 3,2 μm
Contrôle et inspection de la qualité
- Analyse de la composition chimique
- Tests de propriétés mécaniques
- Contrôle dimensionnel et visuel
Si nécessaire, vous pouvez recevoir :
- Certificat d'essai en usine (MTC)
- Rapports d'inspection
Capacités de cible en titane personnalisées
Vous pouvez entièrement personnaliser les cibles :
1. Options de pureté
De 99,5% à 99,999%
2. Taille et épaisseur
- Tailles non-standard prises en charge
- Épaisseur minimale d'usinage : 1 mm
3. Contrôle de la taille des grains
- Contrôlé par traitement thermique
- Taille de grain de 20 à 200 μm disponible
4. Cibles cautionnées
Vous pouvez choisir des plaques de support dans :
- Cuivre (Cu)
- Aluminium (Al)
- Molybdène (Mo)
5. Finition des surfaces
Tournant,Affûtage,Polissage,Sablage
6. Formes complexes
Cibles échelonnées,Segmenter-cibles liées,Contours spéciaux
FAQ sur les cibles en titane
La cible de pulvérisation en titane peut-elle être utilisée dans une pulvérisation à haute-température ou à haute-puissance ?
Oui.
Les cibles Ti de haute-pureté conviennent à la plupart des-pulvérisations à haute température.
Pour des charges de puissance extrêmes ou une production industrielle continue, les cibles de grade 5 (Ti-6Al-4V) offrent une résistance mécanique et une stabilité thermique plus élevées.
Les cibles de pulvérisation cathodique en titane peuvent-elles être exportées à l’international ?
Oui.
Vous pouvez expédier par voie aérienne, maritime ou》(DHL, FedEx, UPS).
Tous les emballages d'exportation sont protégés contre les-chocs,-l'humidité et l'oxydation-.
Quelle est la différence entre les cibles et la cible Titanium PVD ?
Les cibles PVD en titane sont optimisées spécifiquement pour la pulvérisation cathodique de haute-précision, offrant une meilleure efficacité de dépôt et une meilleure uniformité du film. Les cibles standard sont plus polyvalentes et adaptées à une gamme plus large d'applications de revêtement industriel, bien qu'elles ne soient pas toujours optimisées pour les systèmes PVD d'ultra-haute-précision.
Processus de production
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