Présentation du produit
Les cibles de pulvérisation en alliage de titane de grade 5 (Ti-6Al-4V, UNS R56400) permettent un dépôt uniforme de film mince-pour les applications de revêtement PVD industriels nécessitant des rapports résistance-/poids élevés et une résistance à la corrosion. Fabriquées par fusion par induction sous vide et traitement thermomécanique contrôlé, ces cibles garantissent des microstructures denses et homogènes pour minimiser la formation de nodules et l'arc pendant les processus de pulvérisation magnétron DC ou RF.
Spécifications techniques
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Paramètre |
Norme de spécification |
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Composition du matériau |
Ti : équilibre, Al : 5,5 % à 6,7 %, V : 3,5 % à 4,5 %, Fe<= 0.40%, O <= 0.20% |
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Pureté |
>= 99.4 % (hors éléments interstitiels) |
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Densité |
>= 4.43 g/cm3 (Theoretical density >= 99%) |
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Taille moyenne des grains |
< 100 um |
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Formes disponibles |
Planaire (rectangulaire, circulaire, segmenté), rotatif (cylindrique) |
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Dimensions |
Conception personnalisée-jusqu'à 3 000 mm de longueur/diamètre |
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Plaques de support |
Cuivre-sans oxygène (OFC), aluminium 6061 |
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Méthodes de liaison |
Liaison indium, Liaison élastomère, Liaison par diffusion |
Principales fonctionnalités
Microstructure fine et homogène :La structure des grains équiaxés empêche l'érosion anormale localisée et réduit l'éjection de particules lors de la pulvérisation magnétron à impulsion de haute -puissance (HIPIMS).
Haute densité :Fritté et forgé pour minimiser la porosité interne, éliminant ainsi le piégeage des gaz et la contamination de la chambre à vide.
Forte intégration de la plaque de support : Ultrasonic scanning guarantees >= 95 % de couverture de liaison entre le carreau Ti-6Al-4V et la plaque de support en cuivre/aluminium pour une conductivité thermique optimale.
Contrôle dimensionnel précis :Usiné selon des tolérances mécaniques strictes (+/- 0.05 mm à +/- 0.1 mm) pour s'adapter aux assemblages cathodiques OEM sans modification.
Applications
Implants biomédicaux :Films minces biocompatibles-résistants à l'usure sur les appareils orthopédiques et dentaires.
Aérospatiale et défense :Revêtements protecteurs résistants à l'érosion-sur les aubes de turbine et les fixations structurelles.
Quincaillerie décorative :Revêtements durs colorés durables et résistants aux rayures (systèmes multicouches TiN/TiCN/TiAlN-) sur les biens de consommation et les garnitures automobiles.
R&D et-recherche sur les films minces :Dépôt-à l'échelle du laboratoire pour les études de phase d'alliage et les tests de couches minces-de semi-conducteurs.
Personnalisation et fabrication
La production utilise des installations de fusion par induction sous vide (VIM), de refusion à l'arc sous vide (VAR), de forgeage à chaud et d'usinage CNC multi--axes situés en-interne.
Géométries personnalisées :Fabriqué selon les dessins CAO du client, y compris les bords étagés, les canaux de refroidissement et les trous de montage filetés.
Profilage cible :Profils d'utilisation magnétique sur mesure pour maximiser la durée de vie de la cible dans des configurations magnétron spécifiques.
Prototypage et mise à l'échelle- :La planification flexible par lots prend en charge à la fois les éléments de R&D uniques et les cycles de production-en grand volume.
Contrôle qualité et certifications
Chaque lot de production est soumis à une inspection rigoureuse en plusieurs étapes-à l'aide d'un équipement de test dédié. Les rapports d'essais de matériaux (MTR) répondant à la conformité EN 10204 3.1 et les fiches techniques des lots représentatifs sont disponibles pour un examen de pré-qualification [Télécharger un exemple de PDF MTR].
Composition chimique :Spectrométrie de masse à plasma à couplage inductif (ICP-MS) et fusion de gaz inertes pour l'analyse des gaz interstitiels (O, N, H).
Analyse de la microstructure :Microscopie optique et diffraction de rétrodiffusion électronique (EBSD) pour la vérification de la taille des grains.
Intégrité interne :Tests C-scan par ultrasons pour détecter les vides sous-sous la surface, le délaminage ou les zones non liées.
Précision dimensionnelle :Rapports d'inspection CMM (machine à mesurer tridimensionnelle) fournis avec chaque expédition.
Conformité:Fabriqué selon les systèmes de gestion de la qualité ISO 9001 : 2015.
Emballage et livraison
Conditionnement:Sous vide-scellé dans des sacs en polyéthylène anti-multi-couches antistatiques avec un rembourrage en mousse haute-densité à l'intérieur de caisses d'exportation en bois robustes pour éviter l'oxydation de la surface et les dommages causés par les chocs pendant le transport.
Délai de mise en œuvre:2 à 3 semaines pour les dimensions standards ; 4 à 5 semaines pour les géométries personnalisées complexes ou les assemblages collés.
Logistique:Expédié par fret aérien ou maritime avec des indicateurs de choc et d'inclinaison fixés à la caisse.
FAQ
Q : Comment empêcher la formation de nodules et la formation d'arcs lors d'une pulvérisation-haute puissance ?
R : Le contrôle du processus de fusion des matières premières et le forgeage mécanique-thermique-mécanique en plusieurs étapes qui en résulte limitent la ségrégation localisée des impuretés. Le maintien d'une taille moyenne de grain inférieure à 100 micromètres garantit des taux d'érosion constants sur toute la surface cible, supprimant ainsi les instabilités du plasma.
Q : Quelle est la force de liaison maximale pour les cibles montées sur des plaques de support en cuivre ?
R : Les méthodes de liaison à l'indium et aux élastomères permettent d'obtenir une résistance au cisaillement supérieure à 10 MPa. L'inspection par ultrasons C-scan vérifie un minimum de 95 % de la surface libre non liée-, évitant ainsi une surchauffe localisée et une fissuration cible à des densités de puissance élevées.
Q : Pouvez-vous fabriquer des cibles segmentées pour les lignes de revêtement architectural-de grandes surfaces ?
R : Oui. Les cibles planaires dépassant les dimensions standard des chambres à vide sont produites dans des segments imbriqués de précision - avec des tolérances de joint maintenues à +/- 0.02 mm pour maintenir une continuité transparente du plasma.
Q : Quelle documentation est incluse avec chaque expédition ?
R : Chaque expédition comprend un rapport de test de matériaux (MTR) spécifique au lot, détaillant la composition chimique exacte (y compris les éléments interstitiels), les mesures de densité, les cartes de numérisation par ultrasons et les fiches d'inspection dimensionnelles de la MMT.
Q : Quel est le délai de livraison standard pour les cibles circulaires ou planaires-personnalisées ?
R : Les commandes personnalisées standard sont expédiées dans un délai de 3 à 4 semaines, y compris la préparation des matières premières, l'usinage de précision, le collage, l'inspection finale et la mise en caisse. Des exécutions accélérées sont disponibles pour les situations critiques de temps d’arrêt de la ligne.
Q : Vos cibles sont-elles compatibles avec les alimentations de pulvérisation magnétron DC et RF ?
R : Oui. La conductivité électrique uniforme et la structure métallurgique dense permettent un fonctionnement stable dans les modes d'alimentation CC, CC pulsé et RF sans micro-arc.
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